萬級(jí)凈化文章概要:萬級(jí)凈化,環(huán)境凈化的一種,主要靠潔凈的氣流不斷稀釋室內(nèi)的空氣,將室內(nèi)的污染逐漸排出,來實(shí)現(xiàn)潔凈效果。潔凈室(CleanRoom),亦稱為無塵室或清凈室?!笣崈羰摇故侵笇⒁欢臻g范圍內(nèi)之空氣中的微粒子、有害空氣、細(xì)菌等之污染物排除,并將室內(nèi)之溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動(dòng)及照明、靜電控制
萬級(jí)凈化,環(huán)境凈化的一種,主要靠潔凈的氣流不斷稀釋室內(nèi)的空氣,將室內(nèi)的污染逐漸排出,來實(shí)現(xiàn)潔凈效果。
潔凈室(CleanRoom),亦稱為無塵室或清凈室。
「潔凈室」是指將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微粒子、有害空氣、細(xì)菌等之污染物排除,并將室內(nèi)之溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動(dòng)及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi),而所給予特別設(shè)計(jì)之房間。亦即是不論外在之空氣條件如何變化,其室內(nèi)均能俱有維持原先所設(shè)定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。
潔凈室**主要之作用在于控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度,使產(chǎn)品能在一個(gè)良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造,此空間我們稱之為「潔凈室」。
**各國均有自定規(guī)格,但普遍還是用美國聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)209為多,以下僅就209D及209E和**上其它各國制定標(biāo)準(zhǔn)作介紹與相互比較。
209E與209D等**大之不同在于209E表示單位增加了公制單位,潔凈室等級(jí)以‵M′字頭表示,如M1、M1.5、M2.5、M3…..依此類推,配合**公制單位之標(biāo)準(zhǔn)化,M字母后之阿拉伯?dāng)?shù)目字是以每立方公尺中>=0.5μm之微塵粒子數(shù)目字以10的冪次方表示,取指數(shù)為之,若微塵粒子數(shù)介于前后二者**冪次方之間,則以1.5、2.5、3.5….表示。
美國聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)FS209D都以英制每立方英呎為單位,日本則是采用公制,即以每立方公尺為單位,以0.1μm微粒子為計(jì)數(shù)標(biāo)準(zhǔn)。日本標(biāo)準(zhǔn)之表示法以Class1,Class2,Class3……Class8表示,**好的等級(jí)為Class1,**差則為Class8,以每立方公尺中微塵粒子總數(shù)中化為10的冪次方,取其指數(shù)而得。
處理方案
●萬級(jí)凈化工程中各級(jí)空氣潔凈度的空氣凈化處理,均應(yīng)采用初效、中效、空氣過濾器三級(jí)過濾。
●空氣過濾器的選用布置和安裝方式,應(yīng)符合:初效空氣過濾器不應(yīng)選用浸油式過濾器;中效空氣過濾器宜集中設(shè)置在凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)的正壓段;空氣過濾器或亞空氣過濾器宜設(shè)置在凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)末端,空氣過濾的安裝方式應(yīng)簡便可靠,宜檢漏和更換;中效、亞、空氣過濾器宜按額定風(fēng)量選用;阻力、效率相近的空氣過濾器宜設(shè)置在同化車間內(nèi)。
●確定集中或分散式凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)時(shí),應(yīng)綜合考慮生產(chǎn)工藝的特點(diǎn)和凈化車間空氣的潔凈度等級(jí)、面積、位置等因素。凡生產(chǎn)工藝連續(xù)、無塵室或凈化車間面積較大時(shí),位置集中以及噪聲控制和振動(dòng)控制要求嚴(yán)格的潔凈室,宜采用集中式凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)。
●凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)如需電加熱時(shí),應(yīng)選用管狀電加熱器,位置應(yīng)布置在空氣過濾器的上風(fēng)側(cè),并應(yīng)有防火安全措施。
●送風(fēng)機(jī)可按凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)的總送風(fēng)量和總阻力值進(jìn)行選擇,中效、空氣過濾器的阻力宜按其初阻力的兩倍計(jì)算。
●凈化工程化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)除直流式系統(tǒng)和設(shè)置值班風(fēng)機(jī)的系統(tǒng)外,應(yīng)采取防止室外污染空氣通過新風(fēng)口參入凈化車間內(nèi)的防灌倒措施。
●凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)設(shè)計(jì)應(yīng)合理利用回風(fēng),凡工藝過程產(chǎn)生大量有害物質(zhì)且局部處理不能滿足衛(wèi)生要求,或?qū)ζ渌ば蛴形:r(shí),則不應(yīng)用回風(fēng)。
山5349東5349萬5349集5349防5349偽5349編5349碼
|
轉(zhuǎn)載請(qǐng)注明來源:萬級(jí)凈化http://www.m7516.cn/wenti/5349.html
山東盛之源凈化設(shè)備有限公司
聯(lián)系人:李經(jīng)理
電話:15665850132
公司地址:山東省濟(jì)南市天橋區(qū)歷山北路99號(hào)2041室