潔凈空間的溫濕度主要是根據(jù)工藝要求來確定，但在滿足工藝要求的條件下，

應(yīng)考慮到人的舒適度感。隨著空氣潔凈度要求的提高，出現(xiàn)了工藝對溫濕度的要求也越來越嚴的趨勢。

具體工藝對溫度的要求以后還要列舉，但作為總的原則看，由于加工精度越來越精細，所以對溫度波動范圍的要求越來越小。

例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來越小。

直徑100um的硅片，溫度上升1度，就引起了0。24um線性膨脹，所以應(yīng)該有0。1度的恒溫，同時要求濕度值一般較低，

是怕鈉的半導(dǎo)體車間因為人出汗以后，對產(chǎn)品將有污染，

不銹鋼風(fēng)淋室特別特別是怕鈉的半導(dǎo)體車間，這種車間溫度不宜超過25度，濕度過高產(chǎn)生的問題更多。

相對濕度超過55%時，冷卻水管壁上會結(jié)露，如果發(fā)生在*密裝置或電路中，就會引起各種事故。

風(fēng)淋室標準功能配置及產(chǎn)品特，相對濕度在50%時易生銹。此外，濕度太高時將通過空氣中的水分子?