FFU通風(fēng)方式與傳統(tǒng)集中化送風(fēng)方法數(shù)據(jù)分析

(1)系統(tǒng)軟件靈便，可及時調(diào)整

FFU送風(fēng)模式中FFU大小都是以CeilingGrid的變位系數(shù)(如1200×600)來布置，而且由于其特殊節(jié)點(diǎn)結(jié)構(gòu)，能夠及時調(diào)整部位，以滿足產(chǎn)業(yè)布局的變化。本項目廠區(qū)選用敞開式布局，假如將來應(yīng)該隔開，可以很方便地進(jìn)行優(yōu)化。另一方面，假如廠區(qū)的潔凈度等級要調(diào)整，能通過調(diào)整FFU總數(shù)更改循環(huán)風(fēng)量來達(dá)到。而這對于一般的集中化送風(fēng)的凈化設(shè)備而言是不太可能的。調(diào)節(jié)時僅危害更新改造區(qū)域生產(chǎn)制造，對于非更新改造區(qū)幾乎沒有影響。

(2)進(jìn)風(fēng)口勻稱平穩(wěn)

FFU內(nèi)置風(fēng)機(jī)和控制模塊，進(jìn)風(fēng)口非常容易保障勻稱平穩(wěn)，在集中送風(fēng)系統(tǒng)軟件應(yīng)該靠電動風(fēng)閥調(diào)整排風(fēng)量，在一期工程施工中排風(fēng)量均衡調(diào)整花掉了二天多時間，而且有些地區(qū)還沒有*滿足設(shè)計要求。按照要求凈化空調(diào)運(yùn)作一段時間后，應(yīng)做排風(fēng)量均衡的再調(diào)整，但是根據(jù)電話回訪客戶獲知，因?yàn)檎{(diào)節(jié)繁雜，影響生產(chǎn)，未進(jìn)行各項任務(wù)。二期工程中每個FFU含有控制模塊，全部控制模塊由計算機(jī)系統(tǒng)控制，能做到實(shí)時地調(diào)節(jié)。

(3)合理性

以往，因?yàn)镕FU的價格居高不下，導(dǎo)致FFU送風(fēng)方法工程造價非常高?，F(xiàn)階段，很多國內(nèi)廠家陸續(xù)推出FFU商品，能夠降低FFU送風(fēng)方法的造價。在上文詳細(xì)介紹某半導(dǎo)體設(shè)備新項目二期工程中，經(jīng)測算，F(xiàn)FU送風(fēng)方式為空調(diào)機(jī)組層面的造價稍高于集中化送風(fēng)方法。在高等級的凈化室中，F(xiàn)FU送風(fēng)方法所需的上技術(shù)夾層相對高度比集中化送風(fēng)方法略低，在該項目二期工程中，潔凈室工作中層層高7.2m，下技術(shù)夾層5.5m，上技術(shù)夾層6.5m。如采用傳統(tǒng)集送風(fēng)方法，經(jīng)測算，上技術(shù)夾層*少要8m。那樣FFU送風(fēng)方法土建成本下降，成本費(fèi)用小于傳統(tǒng)中送風(fēng)方法。在二期工程方案設(shè)計時，做了一個合理性較為(如表2)。

(4)負(fù)壓力密封性

FFU送風(fēng)方法的靜壓箱為負(fù)壓力，出風(fēng)口組裝的密封較容易一些，而且就算發(fā)生泄露，就是從凈化室向靜壓箱泄露，不會形成對潔凈室的環(huán)境污染。自然，F(xiàn)FU送風(fēng)方法也是有自身缺點(diǎn)。

在低階其他凈化室(千級及以上)，選用FFU送風(fēng)系統(tǒng)軟件需要大量CeilingGrid、FFU、防靜電地板，造價較高。而集中化送風(fēng)方法針對低等其他凈化室可采取中送側(cè)下次的氣體方式，不能使用防靜電地板，甚至是在10萬級以上凈化室可采取中送上次的形式，連送風(fēng)夾道都不需要。

對于這種難題，出現(xiàn)FFU的簡單化系統(tǒng)軟件，實(shí)際上是集中化送風(fēng)和FFU的搭配。這種方法撤銷防靜電地板和干冷卻盤管，選用中送側(cè)下次的氣體方式，房間內(nèi)負(fù)載由循環(huán)系統(tǒng)發(fā)電機(jī)組解決。比如，在某個硅晶片廠房診斷室中就采用了這種方法。該室凈化*為5級，選用新風(fēng)機(jī)組+循環(huán)系統(tǒng)發(fā)電機(jī)組+FFU的空調(diào)方法。所采用的氣旋方式為頂端FFU送風(fēng)，屋子側(cè)下百葉風(fēng)口送風(fēng)。系統(tǒng)原理圖如圖2。

FFU的另一個主要缺點(diǎn)機(jī)器設(shè)備數(shù)量龐大而分散化，不便于維護(hù)。并且FFU設(shè)置在裝修吊頂上，檢修有一定艱難。而集中化送風(fēng)方法因機(jī)器設(shè)備較為集中，數(shù)量少，易于維護(hù)。FFU不適用于對噪聲需有嚴(yán)格要求的場所，現(xiàn)階段單獨(dú)FFU噪音一般在50dB(A)之上，幾十個上百個乃至好幾千個FFU一起工作。在上文詳細(xì)介紹某半導(dǎo)體設(shè)備項目一期工程項目百級凈化區(qū)評測噪聲值在56~62dB(A)中間。在二期工程百級凈化區(qū)評測噪聲值在67~69dB(A)中間?，F(xiàn)階段噪音原因還是FFU的一項研究課題研究。

人是凈化車間中重要的污染源。在建設(shè)凈化車間時，便根據(jù)潔凈度和送風(fēng)量設(shè)定了凈化車間的額定人數(shù)，如果存在凈化車間內(nèi)的工作人員超過定額人數(shù)，且工作量大、工作時間長、出入凈化車間人次數(shù)多等情況，那么，便會導(dǎo)致凈化車間空調(diào)效率相對下降，從而使環(huán)境衛(wèi)生質(zhì)量下降。

無風(fēng)機(jī)過濾單元是一種內(nèi)配風(fēng)機(jī)裝修吊頂用發(fā)電機(jī)組，用以漩渦及潔凈臺清潔房間內(nèi)，該設(shè)備設(shè)計方案總體靈便，根據(jù)設(shè)計規(guī)格，它能輕易地相互配合*吊頂骨架，從而達(dá)到潔凈等級1000級至1級規(guī)定。

風(fēng)機(jī)過濾單元是當(dāng)前清潔市場中其中一種*清靜、價錢良好的發(fā)電機(jī)組。使用這種發(fā)電機(jī)組，能夠?yàn)閮艋疫\(yùn)輸高品質(zhì)氣體。并且氣體流形好，它適用于半導(dǎo)體材料，電子、觸控顯示屏和硬盤驅(qū)動器生產(chǎn)廠家及電子光學(xué)、微生物工業(yè)等應(yīng)用領(lǐng)域于凈化室、凈化工作臺、清潔生產(chǎn)流水線、拼裝式凈化室和局部千級等場所以及其它對空氣中的環(huán)境污染有嚴(yán)格把控標(biāo)準(zhǔn)的地區(qū)低耗能，減少使用成本。