FFU操作指導(dǎo)書

1.開(kāi)機(jī)前提前準(zhǔn)備

1)開(kāi)機(jī)前確定FFU空氣過(guò)濾網(wǎng)表層整潔，如有異物或塵土，用無(wú)塵擦拭布清除灰塵。不然會(huì)直接影響到濾棉使用壽命。

2.啟動(dòng)

1)將開(kāi)關(guān)電源按鍵開(kāi)關(guān)置位“I”開(kāi)啟總電源。

2)將日日光燈按鍵開(kāi)關(guān)置位“I”即可開(kāi)啟照明燈具。

3)將離心風(fēng)機(jī)調(diào)速開(kāi)關(guān)順時(shí)針?lè)较蚵D(zhuǎn)動(dòng)，離心風(fēng)機(jī)隨著加快，反方向降速，拿手接近過(guò)濾，感到有一定排風(fēng)量吹出來(lái)就可以。

1)將開(kāi)關(guān)電源按鍵開(kāi)關(guān)置位“I”開(kāi)啟總電源。

2)將離心風(fēng)機(jī)擋位撥中等速度MED，(可以通過(guò)快速HIG、中等速度MED、低LOW選擇適合自己的排風(fēng)量，用觸感接近過(guò)濾，覺(jué)有一定排風(fēng)量吹出來(lái)就可以。)

備注名稱：如果你已經(jīng)設(shè)定好各功能，也可以直接將電源總開(kāi)關(guān)置位“I”也可以無(wú)須每一次按序啟動(dòng)。

3.空氣潔凈度測(cè)試

1)用氣體顆粒計(jì)數(shù)器檢測(cè)，0.3μm顆粒低于300個(gè)，0.5μm顆粒低于100個(gè)，表明空氣潔凈已合格，就可以生產(chǎn)工作。

4.待機(jī)1)可以直接電源總開(kāi)關(guān)置位“O”關(guān)掉總電源;確定離心風(fēng)機(jī)、照明燈具關(guān)閉就可以。

5.注意要點(diǎn)：

1)過(guò)濾棉每十二個(gè)月更換一次。

2)初效過(guò)濾網(wǎng)第每周清洗一次。

3)每天上下班搞好外界*方位清理。

風(fēng)淋設(shè)備由于操作比較簡(jiǎn)單，所以對(duì)于每一個(gè)人來(lái)說(shuō)，都是很容易操作的，而且學(xué)起來(lái)也很快，比如說(shuō)有些場(chǎng)所裝平移自動(dòng)門的空間不夠，然后就可以使用這種全自動(dòng)感應(yīng)開(kāi)門系統(tǒng)，在非接觸式感應(yīng)器的配合下，就可以非常輕松的完成，不但能夠節(jié)省空間，而且還能夠減少投資，密封性也是很好的。這種風(fēng)淋設(shè)備的使用能夠更好的為人們的工作增加效率，而且也能夠帶來(lái)很多的方便，在以后的發(fā)展當(dāng)中都是會(huì)運(yùn)用到它的，所以我們多了解關(guān)于它的信息還是很有必要的。

集成電路制造對(duì)無(wú)塵室自然環(huán)境控制有比較明確的規(guī)定，F(xiàn)FU恰好也是*凈化室不可或缺的凈化設(shè)備，不同類型的芯片工藝對(duì)清潔度的需求也不盡相同，比如光刻技術(shù)規(guī)定在1級(jí)免疫微環(huán)境下，而有機(jī)化學(xué)機(jī)械設(shè)備碾磨則要求的是1000級(jí)自然環(huán)境就可以。